OTF-1200X-4-RTP-130 是一款精巧型快速热处理管式炉，配有Φ130mm石英管和不锈钢密封法兰,它是专为氧化物、半导体或太阳能电池基片（最大达4英寸）的快速退火而设计，采用红外灯管加热最快升温速度为50℃/秒，精度为+/-1°C。

  技术参数

名称型号 快速升温炉OTF-1200X-4-RTP-130

产品特点 红外加热,最快升温速率50℃/S

最大4英寸基片都可以放入退火

法兰安装在滑轨可以直接推拉，实现快速降温。

可以选配压缩波纹管在气氛环境下冷却

加热炉系统 输入电源 AC 380V 50HZ，最大功率：24KW

最高工作温度：900℃（＜30min)，长期工作温度：800℃

控温热电偶：进口K型热电偶，紧贴在放样品ALN片下（ALN片为标配，可按照客户要求定制不同材质基片）

加热元件：红外灯管12根短波红外灯管，每根2KW

加热区尺寸：Ф210mm*320mm

室温至900℃：建议升温速率10℃/s最大升温速率50℃/s

降温速率：800℃-350℃降温速率55℃/min 350℃-200℃降温速率5℃/min(在一个大气压下，样品架在炉子内）

降温速率：800℃-350℃降温速率200℃/min 350℃-50℃降温速率35℃/min（在一个大气压下，样品架拉到炉体外）

标配浮子流量计：16-160ml/min

石英管外径130mmx内径120mmx600mmL

包含一款808P型温度控制器(也可选配欧陆仪表恒温精度可达±0.1℃）

PID自动控温系统

智能化30段可编程控制

控温精度：±1℃

默认DB9PC通信连接端口

不锈钢密封法兰系统 水冷密封法兰，密封法兰和腔体法兰之间采用硅胶O型圈密封方式。

左端法兰装有机械压力表和进气截止阀，左边炉体上留有进气口，进气时，气体通过浮子流量计后进入法兰进气口，然后进入炉管内。

左端法兰内侧有石英制隔热挡板。

右端法兰上装有出气截止阀，一个KF25接口用于抽真空，一个1/4英寸双卡套接头用于插入热电偶。

右端法兰内侧有石英制隔热挡板和样品支架，热电偶测温点位于样品正下方。

右端法兰安装在滑轨上可以直接推拉，实现快速退火。

水冷机（选配） 型号：KJ-5000

工作电压：AC 220V 50HZ

工作电流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h

压缩机功率：300W，水箱容量：6L

最大流量：16L/min，净重：24Kg

真空系统（选配） 配套机械泵，真空度可以达到10-2ttor

配套分子泵，真空度可以达到10-5ttor

产品尺寸 外形尺寸：1100*700*660mm（长*宽*高 法兰关闭）

外形尺寸：1400*700*660mm（长*宽*高 法兰打开）

外形尺寸：1100*700*950mm（长*宽*高 炉子打开，法兰打开）

重量 约100kg

保质期 1年（不包含炉管，氟胶O型圈和加热元件等损耗件）

使用注意事项 石英管内气压不可高于0.02MPa；

由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全；

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。